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產品展示

高純BOE溶液技術要求

質量標準:

項目

指標

UP-S級

UP-SS級

氟化銨(NH4F)含量/% ≤

36.4±1.0

40.0±1.0

氫氟酸含量(HF)含量/% ≤

4.8±0.5

4.8±0.5

色度/Hazen ≤

5

5

氯化物(以Cl計) w/(mg/kg)    ≤

3

0.1

硝酸鹽(以NO3計) w/(mg/kg)    ≤

3

0.1

磷酸鹽(以PO4計)  w/(mg/kg)    ≤

1

0.1

硫酸鹽(以SO4計) w/(mg/kg)    ≤

3

0.2

鋁(Al)/(μg/kg) ≤

1

0.1

砷(As)/(μg/kg) ≤

1

0.1

硼(B)/(μg/kg) ≤

1

0.1

鋇(Ba)/(μg/kg) ≤

1

0.1

鈣(Ca)/(μg/kg) ≤

1

0.1

鎘(Cd)/(μg/kg) ≤

1

0.1

鉻(Cr)/(μg/kg) ≤

1

0.1

銅(Cu)/(μg/kg) ≤

1

0.1

鐵(Fe)/(μg/kg) ≤

1

0.1

鉀(K)/(μg/kg) ≤

1

0.1

鋰(Li)/(μg/kg) ≤

1

0.1

鎂(Mg)/(μg/kg) ≤

1

0.1

錳(Mn)/(μg/kg) ≤

1

0.1

鈉(Na)/(μg/kg) ≤

1

0.1

鎳(Ni)/(μg/kg) ≤

1

0.1

鉛(Pb)/(μg/kg) ≤

1

0.1

銻(Sb)/(μg/kg)  ≤

1

0.1

錫(Sn)/(μg/kg) ≤

1

0.1

鈦(Ti)/(μg/kg) ≤

1

0.1

釩(V)/(μg/kg) ≤

1

0.1

鋅(Zn)/(μg/kg) ≤

1

0.1

顆粒

(≥1.0μm)/(個/mL) ≤

30

 

(≥0.5μm)/(個/mL) ≤

-

30

注:氟化銨與氫氟酸含量可按客戶需求的比例進行配置

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